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派瑞林Parylene

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派瑞林Parylene详解

发布时间:2019-2-20 13:26:47

Parylene的静态和动态摩擦系数在0.25~0.33之间,其干膜的光滑程度对涂层材料的某些应用来说是一个重要的属性。Parylene能在0.2μm厚时无针孔,5μm厚时耐1000V以上直流击穿电压,同时又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能优异。因此,在微电子机械系统中,Parylene除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

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新一代特种涂覆技术与装备

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在真空条件下,将蒸发室温度设在120℃左右,使对二甲苯的环状二聚体固态粉末状加热升华为气态环状二聚体;控制裂解室温度在650℃左右,将气态的对二甲苯的二聚体,裂解为活性中间体对二亚甲基苯;气态活性中间体进入常温的真空沉积室,吸附在被加工材料的基体上,聚合形成线性高分子材料(即聚对二甲苯薄膜)。





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